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MEMS加速度計性能測評

作者:admin??更新時間:2020-04-08

  本文介紹了微機電系統(MEMS)加速度計的多項特性,它們使得該技術對狀態監控應用極具吸引力。本文通過回顧一些數據來說明MEMS技術的發展狀況及性能水平,并將其與商用壓電(PZT)狀態監控加速度計進行比較。

MEMS加速度計性能測評

  對MEMS工藝技術的投資加上設計創新,已大大改善MEMS性能,使得MEMS足以成為更廣泛狀態監控應用的可行選擇。采用專門化MEMS結構和工藝技術,現在已實現諧振頻率高達50 kHz、噪聲密度低至25 ­g/?Hz的加速度計。通過精心設計的信號調理電子電路,可以充分發揮此類新型加速度計的低噪聲優勢。

SiA202 | 參數 備注 單位 最小值  典型值 最大值
量程   g ±2    
非線性 IEEE Norm , %全量程 %   0.3 1.0
頻率響應 -3dB Hz 200    
諧振頻率 過阻尼 kHz   1.4  
振動整流誤差 均值頻率 [50Hz , 2kHz] µg/g2   1300  
噪聲 頻帶內 µg/√Hz   7  
分辨率 @1Hz µg rms   7  
啟動響應時間 工作延時運動一次 µs   40  
偏值(K0)溫度系數 測定范圍[-40℃, 85℃] µg/℃   75  
綜合偏值(K0)誤差 溫度范圍[-40℃, 85℃] mg   0.14  
標度因數(K1)溫度系數 測定范圍[-40℃, 85℃] ppm/℃ 20 120 220
綜合標度因數(K1) 溫度范圍[-40℃, 85℃] mV/g 1330 1350 1370
溫度傳感輸出電壓@20℃   V 1.20 1.23 1.26
溫度傳感靈敏度   mV/℃   -4.0  
復位閾值電壓 低電平有效 %VDD     20
工作電壓   V 3.2 3.3 3.4
工作電流   mA   2.3 4
 

 

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