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智能手機中的MEMS傳感器技術解析

作者:admin??更新時間:2019-12-12

智能手機中的MEMS傳感器技術解析

  MEMS器件,尤其是MEMS傳感器已成為智能手機中的標準配置。蘋果iPhone和Research in Motion (RIM)的Blackberry Storm等暢銷機型,以及三星的Omnia、HTC的Diamond和諾基亞都采用了慣性傳感器。不過截止日前部分手機型號已經淘汰停止生產了。

  同時,智能手機應用軟件日益龐大的生態系統很大程度上要歸功于MEMS傳感器。事實上,由于智能手機永遠在線的互聯網訪問和傳感器技術的不斷發展,智能手機正在快速變成地球上最大的無線傳感器網絡。

  智能手機中采用MEMS技術加工的傳感器、執行器和光學器件主要如下,如圖1所示。

  加速度計、陀螺儀、電子羅盤:慣性測量單元(IMU)實現室內導航。加速度計還可以實現自由落體檢測、傾斜控制、計步器、手勢檢測、單擊/雙擊檢測、畫面翻轉等功能。陀螺儀還可以實現圖像防抖、增強現實等功能。

  壓力傳感器:提供多層建筑及商場的精確高度數據,推進LBS服務。

  硅微麥克風:相比傳統的電容式麥克風,硅微麥克風可以采用表貼工藝進行制造,能夠承受很高的回流焊溫度,容易與CMOS工藝及其它音頻電路相集成,并具有改進的噪聲消除性能與良好的RF及EMI抑制性能。

  MEMS微鏡:微投影儀。

  CMOS圖像傳感器、自動對焦執行器:照相機/攝像機。

  環境光感測器:應用優勢是幫助手機節省顯示屏功耗,增加電池的工作時間。最新的光感測器包括了更多功能,如光譜響應與動態范圍、集成接近探測,以及數字通信等。

  接近傳感器、微型顯示器:具有觸摸靈敏度的顯示屏。

  MEMS振蕩器、RF開關:蜂窩無線模塊。

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